產品名稱: 緊湊型高純度臭氧輸送系統(tǒng)

型號系列:Mini ODS

品牌:Teledyne API

產地:美國

價格:**終成交價格需聯(lián)系客服

訂貨號:Mini ODS

Teledyne API Mini ODS -緊湊型高純度臭氧輸送系統(tǒng)概述:

 ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)為要求**的半導體應用而設計。這個高度可靠的臭氧輸送系統(tǒng)適合需求不同流量的高濃度臭氧的應用中。該臭氧輸送系統(tǒng)整合完全，操作簡單，能夠方便的與絕大多數(shù)半導體機臺聯(lián)動，插入即可使用。

該系統(tǒng)基于微處理器的控制器能夠根據(jù)用戶提供的設定值伺服控制臭氧輸送。該臭氧輸送系統(tǒng)包括多通道臭氧泄露探測器和帶排氣系統(tǒng)的外殼。全部的氣體管線都有雙重保險?。

Teledyne API Mini ODS -緊湊型高純度臭氧輸送系統(tǒng)特征:

高純度水冷臭氧發(fā)生器，可生產濃度高達350 g/Nm3?的臭氧
先進的高濃度監(jiān)測儀
使用質量流量控制器監(jiān)測和控制臭氧和進料氣 
完整的安全聯(lián)鎖和EMO系統(tǒng)?
支持**多四個獨立的伺服控制回路?
19英寸機架固定，頂端配有排氣系統(tǒng)，底端配有輪子

Teledyne API Mini ODS -緊湊型高純度臭氧輸送系統(tǒng)應用:

  ODS - 氧氣輸送系統(tǒng)具有多功能性，且安裝使用簡單，已經廣泛應用在需求不同濃度、流量的薄片處理應用中，例如:半導體,化學氣相沉積(CVD),原子層沉積(ALD),氧化物生長,表面處理,粒子清潔,光刻膠去除,灰化.

Teledyne API Mini ODS -緊湊型高純度臭氧輸送系統(tǒng)規(guī)格: