產品名稱: 高純度水冷臭氧發(fā)生器

型號系列:OG-5000系列

品牌:Teledyne API

產地:美國

價格:**終成交價格需聯(lián)系客服

訂貨號:OG-5000系列

Teledyne API OG-5000系列-高純度水冷臭氧發(fā)生器概述:

 OG-5000系列臭氧發(fā)生器是為滿足半導體工業(yè)中對高濃度潔凈臭氧的需求而設計的，可應用于化學氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長和濕法處理過程中。

OG-5000系列設計緊湊，使用水冷系統(tǒng)，能夠簡便的整合進TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測器、臭氧濃度監(jiān)測器和臭氧破壞器中。該儀器經過驗證的技術使得它可廣泛應用于半導體流程中。??
 

Teledyne API OG-5000系列-高純度水冷臭氧發(fā)生器特征:

高純度臭氧
高臭氧濃度
價格低
無消耗品
設計緊湊，模塊化
經過驗證的技術

Teledyne API OG-5000系列-高純度水冷臭氧發(fā)生器應用:

半導體
化學氣相沉積 (CVD)
原子層沉積 (ALD)
氧化物生長
表面處理
粒子清潔
光刻膠去除
灰化
其他

Teledyne API OG-5000系列-高純度水冷臭氧發(fā)生器規(guī)格: