產(chǎn)品名稱: 緊湊型高純度臭氧輸送系統(tǒng)

型號(hào)系列:Mini ODS

品牌:Teledyne API

產(chǎn)地:美國(guó)

價(jià)格:**終成交價(jià)格需聯(lián)系客服

訂貨號(hào):Mini ODS

Teledyne API Mini ODS -緊湊型高純度臭氧輸送系統(tǒng)概述:

 ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)為要求**的半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計(jì)。這個(gè)高度可靠的臭氧輸送系統(tǒng)適合需求不同流量的高濃度臭氧的應(yīng)用中。該臭氧輸送系統(tǒng)整合完全，操作簡(jiǎn)單，能夠方便的與絕大多數(shù)半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)聯(lián)動(dòng)，插入即可使用。

該系統(tǒng)基于微處理器的控制器能夠根據(jù)用戶提供的設(shè)定值伺服控制臭氧輸送。該臭氧輸送系統(tǒng)包括多通道臭氧泄露探測(cè)器和帶排氣系統(tǒng)的外殼。全部的氣體管線都有雙重保險(xiǎn)?。

Teledyne API Mini ODS -緊湊型高純度臭氧輸送系統(tǒng)特征:

高純度水冷臭氧發(fā)生器，可生產(chǎn)濃度高達(dá)350 g/Nm3?的臭氧
先進(jìn)的高濃度監(jiān)測(cè)儀
使用質(zhì)量流量控制器監(jiān)測(cè)和控制臭氧和進(jìn)料氣 
完整的安全聯(lián)鎖和EMO系統(tǒng)?
支持**多四個(gè)獨(dú)立的伺服控制回路?
19英寸機(jī)架固定，頂端配有排氣系統(tǒng)，底端配有輪子

Teledyne API Mini ODS -緊湊型高純度臭氧輸送系統(tǒng)應(yīng)用:

  ODS - 氧氣輸送系統(tǒng)具有多功能性，且安裝使用簡(jiǎn)單，已經(jīng)廣泛應(yīng)用在需求不同濃度、流量的薄片處理應(yīng)用中，例如:半導(dǎo)體,化學(xué)氣相沉積(CVD),原子層沉積(ALD),氧化物生長(zhǎng),表面處理,粒子清潔,光刻膠去除,灰化.

Teledyne API Mini ODS -緊湊型高純度臭氧輸送系統(tǒng)規(guī)格: